雜志簡(jiǎn)介：《微納電子技術(shù)》雜志經(jīng)新聞出版總署批準(zhǔn)，自1964年創(chuàng)刊，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為13-1314/TN，是一本綜合性較強(qiáng)的科技期刊。該刊是一份月刊，致力于發(fā)表科技領(lǐng)域的高質(zhì)量原創(chuàng)研究成果、綜述及快報(bào)。主要欄目：技術(shù)論壇、材料與結(jié)構(gòu)、MEMS與傳感器、加工、測(cè)量與設(shè)備
《微納電子技術(shù)》經(jīng)新聞出版總署批準(zhǔn)，自1964年創(chuàng)刊，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為13-1314/TN，本刊積極探索、勇于創(chuàng)新，欄目設(shè)置及內(nèi)容節(jié)奏經(jīng)過(guò)編排與改進(jìn)，受到越來(lái)越多的讀者喜愛(ài)。
《微納電子技術(shù)》致力于推動(dòng)我國(guó)微米納米技術(shù)的發(fā)展，大量報(bào)道了我國(guó)納米電子學(xué)的基礎(chǔ)性研究和MEMS領(lǐng)域的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用，為全國(guó)從事微納電子技術(shù)研究的人員搭建了一個(gè)良好的技術(shù)、信息交流平臺(tái)，對(duì)我國(guó)納米技術(shù)研究人員所做的早期研究工作和取得的成果做出了真實(shí)的、歷史性的描述。
《微納電子技術(shù)》雜志學(xué)者發(fā)表主要的研究主題主要有以下內(nèi)容：
（一）化學(xué)機(jī)械拋光；CMP；拋光液；去除速率；ULSI
（二）CMP；阻擋層；拋光液；堿性拋光液；化學(xué)機(jī)械拋光
（三）MEMS；微電子機(jī)械系統(tǒng)；微機(jī)械；硅；傳感器
（四）無(wú)線無(wú)源；MEMS；壓力傳感器；傳感器；高溫壓力傳感器
（五）共振隧穿二極管；RTD；負(fù)阻器件；共振隧穿器件；負(fù)阻
（六）單電子晶體管；量子元胞自動(dòng)機(jī)；QCA；積分器；磁體
（七）矢量水聽(tīng)器；MEMS；加速度計(jì)；電容式；微機(jī)械
（八）GAN；高電子遷移率晶體管；MEMS；HEMT；MMIC
（九）MEMS；風(fēng)速風(fēng)向傳感器；微電子機(jī)械系統(tǒng)；無(wú)源無(wú)線；微機(jī)電系統(tǒng)
（十）光刻機(jī)；工件臺(tái)；光刻；掩模；生物芯片
1、基金項(xiàng)目：所涉及的課題請(qǐng)?jiān)谖闹凶⒚?，如“基金?xiàng)目：××基金資助項(xiàng)目 （注明基金編號(hào)）”，并附基金證書(shū)復(fù)印件（掃描件）。
2、正文內(nèi)容要求論點(diǎn)明確，資料可靠，文字精煉，層次清楚，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，具有學(xué)術(shù)性、創(chuàng)新性和實(shí)踐性。
3、稿件中的注釋請(qǐng)以腳注形式在當(dāng)頁(yè)頁(yè)腳標(biāo)出。引用報(bào)刊資料，請(qǐng)注明作者姓名、文章標(biāo)題、刊名、刊期；引用書(shū)籍資料，請(qǐng)注明作者姓名、書(shū)名、出版社、出版時(shí)間和頁(yè)碼；引用互聯(lián)網(wǎng)資料，請(qǐng)注明作者姓名、文獻(xiàn)名、網(wǎng)址和時(shí)間。
4、稿件必須用字規(guī)范，標(biāo)點(diǎn)符號(hào)、計(jì)量單位、數(shù)字用法、圖表等應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定。
5、題目?jī)?nèi)不應(yīng)列入非公知公用的符號(hào)、代號(hào)以及數(shù)學(xué)公式等。
立即指數(shù)：立即指數(shù) (Immediacy Index)是指用某一年中發(fā)表的文章在當(dāng)年被引用次數(shù)除以同年發(fā)表文章的總數(shù)得到的指數(shù)；該指數(shù)用來(lái)評(píng)價(jià)哪些科技期刊發(fā)表了大量熱點(diǎn)文章，進(jìn)而能夠衡量該期刊中發(fā)表的研究成果是否緊跟研究前沿的步伐。
引證文獻(xiàn)：又稱來(lái)源文獻(xiàn)，是指引用了某篇文章的文獻(xiàn)，是對(duì)本文研究工作的繼續(xù)、應(yīng)用、發(fā)展或評(píng)價(jià)。這種引用關(guān)系表明了研究的去向，經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，引證文獻(xiàn)數(shù)等于該文獻(xiàn)的被引次數(shù)。引證文獻(xiàn)是學(xué)術(shù)論著撰寫(xiě)中不可或缺的組成部分，也是衡量學(xué)術(shù)著述影響大小的重要因素。
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