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微細(xì)加工技術(shù)雜志

Microfabrication Technology

雜志簡(jiǎn)介：《微細(xì)加工技術(shù)》雜志經(jīng)新聞出版總署批準(zhǔn)，自1983年創(chuàng)刊，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為43-1140/TN，是一本綜合性較強(qiáng)的電子期刊。該刊是一份雙月刊，致力于發(fā)表電子領(lǐng)域的高質(zhì)量原創(chuàng)研究成果、綜述及快報(bào)。主要欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)

主管單位：信息產(chǎn)業(yè)部

主辦單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所

國(guó)際刊號(hào)：1003-8213

國(guó)內(nèi)刊號(hào)：43-1140/TN

創(chuàng)刊時(shí)間：1983

所屬類(lèi)別：電子類(lèi)

發(fā)行周期：雙月刊

發(fā)行地區(qū)：湖南

出版語(yǔ)言：中文

預(yù)計(jì)審稿時(shí)間：3-6個(gè)月

復(fù)合影響因子：0.19

總被引量：758

H指數(shù)：14

期刊他引率：1

發(fā)表咨詢加急見(jiàn)刊

雜志簡(jiǎn)介收錄信息雜志榮譽(yù) 歷史收錄雜志特色雜志評(píng)價(jià) 課題分析發(fā)文刊例雜志問(wèn)答

微細(xì)加工技術(shù)雜志簡(jiǎn)介

《微細(xì)加工技術(shù)》自1983年創(chuàng)刊，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為43-1140/TN，本刊積極探索、勇于創(chuàng)新，欄目設(shè)置及內(nèi)容節(jié)奏經(jīng)過(guò)編排與改進(jìn)，受到越來(lái)越多的讀者喜愛(ài)。

《微細(xì)加工技術(shù)》雜志學(xué)者發(fā)表主要的研究主題主要有以下內(nèi)容：

（一）微機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；微機(jī)械；形狀記憶合金；微驅(qū)動(dòng)器

（二）微機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；微機(jī)械；微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)；電磁驅(qū)動(dòng)

（三）微機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)；雙穩(wěn)態(tài)；微加工

（四）電極；MEMS；微機(jī)電系統(tǒng)；壓電；微針

（五）電子束；電子束光刻；微機(jī)電系統(tǒng)；抗蝕劑；聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)

（六）電子束曝光機(jī)；聚焦離子束；液態(tài)金屬離子源；電子束曝光；圖形發(fā)生器

（七）光刻；相移掩模；光刻系統(tǒng)；干涉光刻；光刻技術(shù)

（八）光刻分辨力；投影光刻物鏡；原子束；光刻；光子晶體

（九）碳納米管；形狀記憶合金；微驅(qū)動(dòng)器；納米；圖形化

（十）電子束光刻；電子束曝光；電子束直寫(xiě)；抗蝕劑；電子束

微細(xì)加工技術(shù)收錄信息

微細(xì)加工技術(shù)雜志榮譽(yù)

微細(xì)加工技術(shù)歷史收錄

Scopus數(shù)據(jù)庫(kù)（2021）

微細(xì)加工技術(shù)雜志特色

1、本刊恕不退稿。凡投稿三個(gè)月內(nèi)未接到任何采用通知者可改投他刊。

2、正文的層次標(biāo)題應(yīng)簡(jiǎn)短明了，以15字為限，不用標(biāo)點(diǎn)符號(hào)，其層次的劃分及編號(hào)一律使用阿拉伯?dāng)?shù)字分級(jí)編號(hào)法。

3、著錄的參考文獻(xiàn)應(yīng)準(zhǔn)確無(wú)誤，其內(nèi)容及順序是：專著——序號(hào)、著（譯）者、書(shū)名、卷次、出版社、出版年；期刊一一序號(hào)、作者、篇名、刊名、年份、卷期；報(bào)紙——序號(hào)、作者、篇名、報(bào)紙名、年月日、版頁(yè)。

4、關(guān)鍵詞一般3~8個(gè)，要規(guī)范，必須是名詞或名詞性詞組，所有關(guān)鍵詞要便于檢索和索引。

5、文末一定要標(biāo)明作者單位及聯(lián)系地址、郵編、電話、傳真、電子郵箱、QQ等，方便雜志出刊后寄送。

微細(xì)加工技術(shù)雜志評(píng)價(jià)

主要引證文獻(xiàn)期刊分析

引證文獻(xiàn)：又稱來(lái)源文獻(xiàn)，是指引用了某篇文章的文獻(xiàn)，是對(duì)本文研究工作的繼續(xù)、應(yīng)用、發(fā)展或評(píng)價(jià)。這種引用關(guān)系表明了研究的去向，經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，引證文獻(xiàn)數(shù)等于該文獻(xiàn)的被引次數(shù)。引證文獻(xiàn)是學(xué)術(shù)論著撰寫(xiě)中不可或缺的組成部分，也是衡量學(xué)術(shù)著述影響大小的重要因素。