雜志簡介：《微細加工技術(shù)》雜志經(jīng)新聞出版總署批準，自1983年創(chuàng)刊，國內(nèi)刊號為43-1140/TN，是一本綜合性較強的電子期刊。該刊是一份雙月刊，致力于發(fā)表電子領(lǐng)域的高質(zhì)量原創(chuàng)研究成果、綜述及快報。主要欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)
《微細加工技術(shù)》自1983年創(chuàng)刊，國內(nèi)刊號為43-1140/TN，本刊積極探索、勇于創(chuàng)新，欄目設(shè)置及內(nèi)容節(jié)奏經(jīng)過編排與改進，受到越來越多的讀者喜愛。
《微細加工技術(shù)》雜志學(xué)者發(fā)表主要的研究主題主要有以下內(nèi)容：
（一）微機電系統(tǒng)；MEMS；微機械；形狀記憶合金；微驅(qū)動器
（二）微機電系統(tǒng)；MEMS；微機械；微機電系統(tǒng)技術(shù)；電磁驅(qū)動
（三）微機電系統(tǒng)；MEMS；微機電系統(tǒng)技術(shù)；雙穩(wěn)態(tài)；微加工
（四）電極；MEMS；微機電系統(tǒng)；壓電；微針
（五）電子束；電子束光刻；微機電系統(tǒng)；抗蝕劑；聚合酶鏈式反應(yīng)
（六）電子束曝光機；聚焦離子束；液態(tài)金屬離子源；電子束曝光；圖形發(fā)生器
（七）光刻；相移掩模；光刻系統(tǒng)；干涉光刻；光刻技術(shù)
（八）光刻分辨力；投影光刻物鏡；原子束；光刻；光子晶體
（九）碳納米管；形狀記憶合金；微驅(qū)動器；納米；圖形化
（十）電子束光刻；電子束曝光；電子束直寫；抗蝕劑；電子束
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引證文獻：又稱來源文獻，是指引用了某篇文章的文獻，是對本文研究工作的繼續(xù)、應(yīng)用、發(fā)展或評價。這種引用關(guān)系表明了研究的去向，經(jīng)過驗證，引證文獻數(shù)等于該文獻的被引次數(shù)。引證文獻是學(xué)術(shù)論著撰寫中不可或缺的組成部分，也是衡量學(xué)術(shù)著述影響大小的重要因素。
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